2005年07月06日
新排水基準クリアと高純度蛍石回収を同時に実現する
高効率フッ酸廃液リサイクル技術を開発
※記載内容は、全て記者発表時点のものです。ご覧になった時点の情報とは内容が異なる場合がありますのでご了承ください。
三洋電機株式会社は、地球環境の保全を目的とした技術開発を積極的に推進しています。近年、有害物質としてのフッ素の排水基準強化やフッ素化合物の原料である蛍石(※1)の輸入価格高騰などにより、効率的なフッ素除去に加え、リサイクルのニーズが高まっています。三洋電機株式会社 研究開発本部 ヒューマンエコロジー研究所と三洋アクアテクノ株式会社は、従来から培ってきた半導体工程排水処理技術(アクアクローザ(R)、スラリークローザ(R))をベースに効率的なフッ酸(※2)廃液処理技術の開発に取り組み、この度、フッ酸廃液のフッ素濃度に依存せず、フッ素の排水基準(8mg/L)以下の処理水質と高純度(98%)蛍石の回収を両立する今までにないフッ酸廃液リサイクル技術の開発に成功しました。本システムは半導体工場などから排出されるフッ酸廃液のみならず、フッ素系ガスの分解処理工程から出るフッ酸廃液にも適用できます。
◆ 主な特長
1. フッ酸廃液のフッ素濃度に依存せず、フッ素の排水基準(8mg/L)以下の処理水質と高純度(98%)蛍石回収の両立が可能(世界初)
2. 従来の凝集沈殿法に比べ、コンパクトかつ低消費電力を実現
3. 既存の凝集沈殿処理施設に適用した場合でも、汚泥の減容化を実現(約30%減)
・関連特許52件(国内・外、出願中を含む)
・資源・素材2005(室蘭)(2005年9月25日-27日)で発表予定
※1:蛍石 … フッ化カルシウムを主成分とする鉱物。加熱したり紫外線を当てたりすると発光するものがある。硫酸と作用させて、フッ酸(フッ化水素酸)が得られる。
※2:フッ酸… 正式名称はフッ化水素酸。半導体産業におけるエッチング剤やほとんどのフッ素化合物の出発原料として利用される。
アクアクローザ(R)、スラリークローザ(R)は、三洋電機株式会社の登録商標です。
◆ お問い合わせ及び資料請求先
三洋電機株式会社 研究開発本部 ヒューマンエコロジー研究所
〒370-0596 群馬県邑楽郡大泉町坂田1-1-1 TEL 0276-61-8594
三洋アクアテクノ株式会社
〒370-0596 群馬県邑楽郡大泉町坂田1-1-1 TEL 0276-61-7940
三洋電機(株) |2005年07月06日 14:41 | トラックバック(0)
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